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スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式32日以内出荷酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45適合流体酸素ガス(O2)最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式32日以内出荷炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45適合流体炭酸ガス(CO2)最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式32日以内出荷窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。最大圧力(kPa)入口：500仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.測定方法熱式耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60測定対象気体周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45適合流体窒素ガス(N2)バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式32日以内出荷水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。最大圧力(kPa)入口：500仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.測定方法熱式耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60測定対象気体周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45適合流体水素ガス(H2)バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
