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表示器付ローコストマスフローメータ MODEL 3810DSⅡ SERIES + 専用AC電源アダプタ
コフロック￥109,800～税込￥120,780～1式27日以内出荷表示器付ローコストマスフローメータ(ニードルバルブ一体型)です。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。また、ニードルバルブによって流量制御を行うことも可能です。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。使用圧力(MPa)0.0～0.5(G)材質接ガス部：SUS303、PTFE、FKM(オプションNBR or CR)材質(シール)FKMバルブの有無あり測定方法熱式耐圧(MPa)1.0(G)接続RC1/4センサー熱式センサー測定対象気体所要電力DC24V±5% 100mA温度係数FS±0.2%/℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)0～50材質(ボディ)接ガス部：SUS303、PTFE二次側圧力(MPa)0許容湿度(%)30～80(結露なきこと)イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
表示器付ローコストマスフローメータ MODEL 3810DSⅡ SERIES + 専用AC電源アダプタ
コフロック￥94,980～税込￥104,478～1式27日以内出荷表示器付ローコストマスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。使用圧力(MPa)0.0～0.5(G)材質(シール)FKMバルブの有無なし測定方法熱式耐圧(MPa)1.0(G)接続RC1/4センサー熱式センサー測定対象気体所要電力DC24V±5% 100mA温度係数FS±0.2%/℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)0～50材質(ボディ)接ガス部：SUS303、PTFE許容湿度(%)30～80(結露なきこと)イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式39日以内出荷から49日以内出荷アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体アルゴンガス(AR)スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式39日以内出荷から49日以内出荷酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45適合流体酸素ガス(O2)最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式39日以内出荷から49日以内出荷炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45適合流体炭酸ガス(CO2)最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式39日以内出荷から49日以内出荷窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。最大圧力(kPa)入口：500仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.測定方法熱式耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60測定対象気体周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45適合流体窒素ガス(N2)バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式39日以内出荷から49日以内出荷ヘリウムガス(HE)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体ヘリウムガス(HE)スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式39日以内出荷から49日以内出荷空気(AIR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。最大圧力(kPa)入口：500材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM(オプションNBR or CR)測定方法熱式保存温度(℃)-10～60測定対象気体許容周囲温度(℃)5～45適合流体空気(AIR)スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式39日以内出荷から49日以内出荷水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。最大圧力(kPa)入口：500仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.測定方法熱式耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60測定対象気体周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45適合流体水素ガス(H2)バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥199,000税込￥218,9001式52日以内出荷表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥139,800税込￥153,7801式52日以内出荷表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
