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ネオバックSO-Mは高度に精製したアルキルジフェニールエーテルを主成分とする合成潤滑油を高真空蒸留装置によって精密分溜した合成系油回転高真空ポンプ油です。 鉱物油系では得られない高い耐活性ガス・耐熱・耐酸化性を有しており、特に半導体製造装置等で使用する活性ガスの排気プロセスに最適です。 低蒸気圧：蒸気圧が低く、到達圧力はポンプの持つ限界まで期待できます。 耐熱・耐酸化性：鉱物油系では得られない耐熱・耐酸化性を有し、長期にわたりご使用いただけます。 耐活性ガス：活性ガスに対しても酸化劣化物の発生を抑え、長期間ご使用いただけます。 耐放射線性：放射線量の多い特殊環境での用途にも適しています。