質量(kg)0.1使用温度範囲(℃)(雰囲気および使用流体)5~60ポート数3ポート使用圧力範囲(MPa)(メイン)0.2~0.9、(パイロット)0.001~0.003(MAX.0.1)使用流体空気保証耐圧力(MPa)(メイン)1.35、(パイロット)0.1最大作動頻度(Hz)5給油不要配管接続口径(メイン)Rc1/8、(パイロット)M5×0.8またはバーブ継手(ナイロンチューブ6~4用タケノコ形継手)流量特性音速コンダクタンスC(dm3/(s・bar))1.1、有効断面積(Cv値)(mm2)5.5(0.27)コンスタントブリード量(l/min)1.5以下(0.5MPa)