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1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar：CO2(8：2))に対応できる小形の流量センサです。 高精度・高応答 繰返し精度：±1%F.S.以内、表示精度：±3%F.S.以内、応答時間：50msec 流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減しました。 双方向での流体計測が可能でタクトタイムの短縮に貢献します。流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能です。 液晶ディスプレイの表示を上下反転することが可能です。 オプション選択により、ブラケット、DINレール、パネルマウントでの取付が可能です。 継手部分はワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから選択可能です。

ADK21のメンテナンス部品、プランジャ・ダイアフラム組立とコア組立のセット形番です。

APK21のメンテナンス部品、プランジャ・主弁組立とコア組立のセット形番です。