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ファインレベルスイッチ KML502シリーズ(マニホールド)
CKD￥173,250税込￥190,5751台4日以内出荷から16日以内出荷設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適付属品ハウジング、端子使用温度(℃)【供給ガス】5～60繰返し精度(mm)±1使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガスチューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4材質(ボディ)PPS周囲温度(℃)5～60チューブ長さ(m)5以内流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)材質(ダイアフラム)FKM，FFKM応差(mm)2応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
スーパーマイクロシリンダ SCM基本(片ロッド)ベース SCM-00-～
CKD￥4,960～税込￥5,456～1本当日出荷から52日以内出荷シンプルデザイン、全長寸法が短い、取付作業が容易形式基本形使用ピストン速度(mm/s)30～1000(許容吸収エネルギー内でご使用ください)最高使用圧力(MPa)1作動方式復動形寸法N(mm)2使用流体圧縮空気保証耐圧力(MPa)1.6給油不要(給油時はタービン油1種ISOVG32を使用)周囲温度(℃)-10～60(但し、凍結なきこと)スーパーマイクロシリンダ SCM基本(片ロッド)ベース SCM-FA-～
CKD￥5,493～税込￥6,042～1本4日以内出荷から52日以内出荷形式ロッド側フランジ形使用ピストン速度(mm/s)30～1000(許容吸収エネルギー内でご使用ください)最高使用圧力(MPa)1作動方式復動形寸法N(mm)2使用流体圧縮空気保証耐圧力(MPa)1.6給油不要(給油時はタービン油1種ISOVG32を使用)周囲温度(℃)-10～60(但し、凍結なきこと)スーパーマイクロシリンダ SCM基本(片ロッド)ベース SCM-LB-～
CKD￥5,493～税込￥6,042～1本4日以内出荷から52日以内出荷シンプルデザイン、全長寸法が短い、取付作業が容易形式軸方向フート形使用ピストン速度(mm/s)30～1000(許容吸収エネルギー内でご使用ください)最高使用圧力(MPa)1作動方式復動形使用流体圧縮空気保証耐圧力(MPa)1.6給油不要(給油時はタービン油1種ISOVG32を使用)周囲温度(℃)-10～60(但し、凍結なきこと)スーパーマイクロシリンダ SCM基本(片ロッド)ベース SCM-CA-～
CKD￥5,760～税込￥6,336～1本4日以内出荷から52日以内出荷形式一山クレビス形使用ピストン速度(mm/s)30～1000(許容吸収エネルギー内でご使用ください)最高使用圧力(MPa)1作動方式復動形使用流体圧縮空気保証耐圧力(MPa)1.6給油不要(給油時はタービン油1種ISOVG32を使用)周囲温度(℃)-10～60(但し、凍結なきこと)
