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ファインレベルスイッチ KML502シリーズ(単品)CKD￥34,650～税込￥38,115～
1台
当日出荷から10日以内出荷
設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。
用途薬液槽の液面検出に半導体製造、化学プロセスに最適付属品ハウジング、端子質量(kg)0.14使用温度(℃)【供給ガス】5～60繰返し精度(mm)±1使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガスチューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4材質(ボディ)PPS周囲温度(℃)5～60チューブ長さ(m)5以内流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)材質(ダイアフラム)FKM，FFKM応差(mm)2応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
水用小形パイロット式電磁弁 FWDシリーズ(Rcねじ)(FWD11-□A～)CKD￥6,898～税込￥7,588～
1台
5日以内出荷から31日以内出荷
水用の小形パイロット式電磁弁です。特殊形状ダイアフラムによりコンパクトに大流量を確保します。アクチュエータの樹脂化により大幅な軽量化を実現しました。水専用設計で、高耐食材質の採用により耐腐食性を向上しました。ボディ材質は黄銅(青銅)かステンレス、シール材質はニトリルゴム(NBR)かフッ素ゴム(FKM)の選択可能です。
用途水のON/OFF制御に保護構造IPX5最高使用圧力(MPa)0.7作動方式NC(通電時開)形ねじの種類Rcねじ使用流体水(汚水・農業用水・液肥・不凍液は除く)流体温度(℃)5 ～ 60 (凍結のないこと)耐熱クラスクラス130(B)耐圧力(MPa)(水圧にて)1.05取付姿勢自在雰囲気腐食性ガス・爆発性ガスのない場所弁構造パイロット式ポペット構造 ダイアフラム駆動弁座漏れ(cm3/min)0(水圧にて)周囲温度(℃)-10 ～ 60 (流体の凍結のないこと)作動圧力差範囲(MPa)0.02～0.7定格電圧変動範囲±10%RoHS指令(10物質対応)対応
ファインレベルスイッチ KML502シリーズ(マニホールド)CKD￥37,950～税込￥41,745～
1台
4日以内出荷から16日以内出荷
設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。
用途薬液槽の液面検出に半導体製造、化学プロセスに最適付属品ハウジング、端子使用温度(℃)【供給ガス】5～60繰返し精度(mm)±1使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガスチューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4材質(ボディ)PPS周囲温度(℃)5～60チューブ長さ(m)5以内流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)材質(ダイアフラム)FKM，FFKM応差(mm)2応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
水用小形パイロット式電磁弁 FWDシリーズ(Gねじ)(FWD11-□G～)CKD￥6,898～税込￥7,588～
1台
5日以内出荷から40日以内出荷
水用の小形パイロット式電磁弁です。特殊形状ダイアフラムによりコンパクトに大流量を確保します。アクチュエータの樹脂化により大幅な軽量化を実現しました。水専用設計で、高耐食材質の採用により耐腐食性を向上しました。ボディ材質は黄銅(青銅)かステンレス、シール材質はニトリルゴム(NBR)かフッ素ゴム(FKM)の選択可能です。
用途水のON/OFF制御に作動方式NC(通電時開)形ねじの種類Gねじ使用流体水(汚水・農業用水・液肥・不凍液は除く)作動圧力差範囲(MPa)0.02～0.7RoHS指令(10物質対応)対応
水用小形パイロット式電磁弁 FWDシリーズ(NPTねじ)(FWD11-□N～)CKD￥9,998～税込￥10,998～
1台
5日以内出荷から25日以内出荷
水用の小形パイロット式電磁弁です。特殊形状ダイアフラムによりコンパクトに大流量を確保します。アクチュエータの樹脂化により大幅な軽量化を実現しました。水専用設計で、高耐食材質の採用により耐腐食性を向上しました。ボディ材質は黄銅(青銅)かステンレス、シール材質はニトリルゴム(NBR)かフッ素ゴム(FKM)の選択可能です。
用途水のON/OFF制御に保護構造IPX5最高使用圧力(MPa)0.7作動方式NC(通電時開)形ねじの種類NPTねじ使用流体水(汚水・農業用水・液肥・不凍液は除く)流体温度(℃)5 ～ 60 (凍結のないこと)耐熱クラスクラス130(B)耐圧力(MPa)(水圧にて)1.05取付姿勢自在雰囲気腐食性ガス・爆発性ガスのない場所弁構造パイロット式ポペット構造 ダイアフラム駆動弁座漏れ(cm3/min)0(水圧にて)周囲温度(℃)-10 ～ 60 (流体の凍結のないこと)作動圧力差範囲(MPa)0.02～0.7定格電圧変動範囲±10%RoHS指令(10物質対応)対応
