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M.メタル軸受。・高精度・高剛性・省スペースを実現した用途多彩な先端アクチュエータ。

横荷重や偏芯荷重に強い製品にするために、ガイドロッド軸受部を改良するとともに、メタル軸受材料を変更しました。 従来品に比べ耐荷重性能が向上し、さらに安定作動も実現しました。 シリンダ本体の剛性はそのままに、アルミボディ形状を見直し、軽量化、省資源化を実現しました。 ピストンロッドの取付は六角レンチで行えるため、メンテナンス時に特殊な工具は不要です。 エンドプレートは、平面研削を行い、治具を取り付きやすくしています。 エア配管は2方向で配管処理がしやすく、取付方向は3タイプ用意しました。 小形のT形シリンダスイッチを搭載したモデルでは、取付時のスイッチの出っ張りを解消し、省スペース化を図りました。

水・空気・ガス・油など多種類の流体を制御するマルチレックスバルブの防爆仕様です。

設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。

蒸気専用電磁弁です。差圧0から作動します。耐久回数100万回を実現しました。ソレノイド構造を変更し、作動時の衝撃を緩和することにより耐久性が大幅に向上しました。PTFE角リングによる特殊シール構造で外部シール力を向上、高温蒸気における外部漏れリスク低減しています。異物に強いピストン構造です。

設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。