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薄型アライメントステージ神津精機￥489,800税込￥538,780
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種類xyステージ/傾斜ステージ送り方式ボールねじ・リード1mm材質(本体)アルミ合金仕上白色コネクタ丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)繰返し精密度(μm)XY：≦±0.5バックラッシュXY：≦ 1μm、θ：≦ 0.005°ロストモーション(mm)XY：≦ 0.002ロストモーション(°)θ：≦ 0.005
