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ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。 サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。

DCブラシレスモータの採用で、負荷に応じた最適な回転速度で運転されることから、大気圧からの真空排気が可能です。 マグネットカップリングの構造により、ポンプ外部への油漏れなしです。 ポンプ内部のシールは、非接触シールを採用し、メカニカルロスを大幅に低減しました。 ドライバーボックス内部の電源切換で、100V系及び200V系で運転が可能です。