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接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。

アルカリ性溶剤、塩酸・酢酸などに対する耐食性に優れ、特殊な溶液あるいは特殊なガスを吸う真空引に最適なポンプです。

油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです

組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。

真空ポンプのオプション部品です。