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電離真空計(マルチイオンゲージ)SH200-A+ISG1セット(NW16)ULVAC(アルバック)￥339,800税込￥373,780
1セット
59日以内出荷
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。大気圧から高真空領域(1×10^+5～1×10^-8Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。
用途半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に。インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に。高真空・超高真空装置の圧力測定に。トラスコ品番353-7438セット内容SH200-A、SWU10-R、SH200用測定子M44、SWU10-R専用測定子SWP-16材質測定子フィラメント・白金(Pt)電源電圧(V)100～240測定子M-44(NW-16)/SWP-16取合フランジNW16圧力測定範囲(Pa)1×10[[の5乗]]～1×10[[の-8乗]]
電離真空計(マルチイオンゲージ)ST200-A+ISG1セット(NW16)ULVAC(アルバック)￥339,800税込￥373,780
1セット
59日以内出荷
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。大気圧から高真空領域(1×10[[の5乗]]～1×10[[の-5乗]]Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。
用途有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に。真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に。ハイドロカーボン(油系)が多い雰囲気での測定に。真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に。真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に。トラスコ品番353-7437セット内容ST200-A、SWU10-R、ST200用測定子SWT-16、SWU10-R専用測定子SWP-16材質測定子フィラメント：白金(Pt)電源電圧(V)100～240測定子SWT-16/SWP-16取合フランジNW16圧力測定範囲(Pa)1×10[[の5乗]]～1×10[[の-5乗]]
ピラニ真空計(大気圧型)ULVAC(アルバック)1個
欠品中
大気圧を含む低真空領域(0.05～100000Pa)の測定が可能です。フィラメント材には耐久性に優れた白金(Pt)を採用しています。トランスデューサ型SW1-1は表示器不要でも使用可能です。
仕様●アナログ出力タイプ●測定子加熱上限温度：測定子単体150℃(SW100取り外し時)加熱時は、精度など仕様からの逸脱が認められます。SW100の使用温度範囲は、5℃～40℃です。付属品クイックマニュアル材質測定子フィラメント・白金(Pt)その他：SUS304(SWP-1SはSUS316L/Ra<0.5)、FeNiCo、Ni、Au、 Glass、Ceramic質量(g)約105(SW100単体)使用温度範囲(℃)10～40出力測定値出力電圧：DC0V～10V、圧力指示：DC1.7V～8.0V、log 出力：DC1V/1桁、更新時間：50msec、分解能：3mV、誤差：±3mV、出力インピーダンス：10Ω適合規格CE電源電圧定格電圧値：DC24V電圧変動範囲：DC14V～30VMAX(-42/+25%)(リップル、ノイズ 1%以下)定常時：2.0W電源投入時：4.8W過電圧カテゴリ：カテゴリ1(過渡過電圧を十分低いレベルに制限する対策が取られている回路に接続下さい)ケーブル長(m)測定子：5出力電圧(V)レコーダー：DC0～10 LOG出力端末仕様対応：パソコン：Windows10 64bit 以降スマートフォン：Android 6以上、USB TypeC電源電圧(V)DC24・AC100～240(ACアダプタ使用時)保護等級IP30入力信号制御：zero点/大気圧調整、調整クリア、オープンコレクタ入力で動作、負論理通信方式D-sub15-ピンUSB Type-C(USB Type-CはUL-MOBIによる通信のみに使用できます)測定範囲(Pa)5×10-2～1×105繰返し性1×10-1～1×104Pa：±2%測定精度(%)1×10-1Pa～1×10+4Pa：±105.0×10-2～1.0×10-1Pa、1×10+4Pa～1×10+5Pa：±20表示LEDPOWER/ERROR ： パワー、エラー表示SET-1 ： セットポイント1SET-2 ： セットポイント2測定子接続可能：1本/1pc出力信号制御：センサーエラー、セットポイント1/2、オープンコレクタ出力、負論理定格：30VMAX、50mAMAX、70mWコネクタ入出力：D-sub15-ピンコネクタ(オス)、M2.6mmネジUSB Type-C(USB Type-CはUL-MOBIによる通信のみに使用できます)取付姿勢制限無し保管温度範囲(℃)-20～65(非通電時、結露なきこと)調整方式zero点/大気圧調整、調整クリア圧力表示測定子破壊圧力：2×105 Pa(絶対圧)(フランジやクランプなどの破壊圧力は別途考慮ください)湿度範囲(%)15～80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)
