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高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

ボールネジとボールガイドを採用した、高精度・耐久性に優れた自動直動ステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。

専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。