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高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。 上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が得られます。同社独自の省スペースに配慮した設計により、モータも本体に組込んだコンパクトな水平面Z軸ステージです。突起部分を極力抑えているため装置組込用途にも最適です。

ボールネジとボールガイドを採用した、高精度・耐久性に優れた自動直動ステージです。

fθレンズはガルバノミラーやポリゴンミラーを使って、レーザビームを2次元走査する場合に使用するレンズです。バーコードリーダーやレーザマーキング、レーザ微細加工などに使用されています。

小型・薄型・高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。

このホルダーは集光レンズ専用のホルダーです。光学実験装置に集光レンズを設置する時に使用します。

集光レンズにはレーザ加工の飛まつから保護するための保護ガラスが取り付けられます。保護ガラスには3種類のサイズがご用意されています。

2点ある楕円の焦点の一方の焦点を通る光線は楕円面で反射され、もう一方の焦点を通ります。この原理を利用して、光源を一方の焦点に置くことで、もう一方の焦点に光を集めることができます。

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。