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ボールネジとボールガイドを採用した、高精度・耐久性に優れた自動直動ステージです。

小型・薄型・高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。