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高剛性・精密型自動ステージ OSMS20(XY)
シグマ光機￥209,800～税込￥230,780～1個12日以内出荷高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高耐久型自動アライメントステージ HDSシリーズ
シグマ光機￥149,800～税込￥164,780～1個12日以内出荷から13日以内出荷半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
コンパクトスケール内蔵自動ステージ OSMS(CS)20
シグマ光機￥179,800～税込￥197,780～1個13日以内出荷専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。耐荷重(N)78.4送り方式送りネジ移動ガイドアウターレール構造テーブル幅(mm)85テーブル長さ(mm)85
