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突起部を省き小スペース型で動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、テーブル面が水平な調整用XYZ軸ステージです。

アリ溝ガイド・ネジ送り調整方式を使用した動作頻度が少なく微細な調整用途に適したXYZ軸ステージです。

アリ溝ガイド・ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。

4軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ・Z軸フラットスチールステージ・θ軸粗微動ステージを組合せたものです。

5軸方向の微調整用精密ステージです。

ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

6軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ、Z軸フラットスチールステージ、θ軸粗微動ステージ、αβ軸小型ゴニオステージ、αβ軸ゴニオステージを組合せたものです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

クロスローラガイドのXY軸ステージと垂直タイプのZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

Z軸・XZ軸・XYZ軸ステージの垂直タイプのステージ面に取り付け、L型ブラケットの上面に他のアクセサリーを取り付けます。

お得なセット品をご用意しました。お手元に届いたその日から、簡単に操作することができます。X軸セット/手軽に直進1方向の自動位置決めとJOG駆動を行うことができます。XY軸セット/XY軸自動アライメント、パソコン無しでプログラム運転が可能です。XYθ軸セット/半導体ウエハのマーキングなどの微小位置、角度調整用自動ステージシステムです。XYZ軸セット/計測・検査装置やワークのXYZ軸自動位置決め用途に最適です。