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標準ガス、ゼロガス、高純度ガスでの使用に最適。1外部リーク量低減と純度維持のためステンレス製ダイヤフラムを採用 2内部リーク低減のためにフィルターを内蔵しています。二段減圧式構造により小流量の安定供給が可能です。圧力変動特性が非常に小さいため、ボンベ圧力が変化しても供給圧力は一定です。

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