アンプ内蔵漏液センサ HPQ-DP シリーズazbil(旧:山武)21日以内出荷から61日以内出荷
●アンプ内蔵・光学式の漏液センサ→ 吸紙や電極を使わず、液体の有無を光学的に検出。感度調整不要で安定検出。
●メンテナンスフリー/復旧が簡単→ 漏液後は検出面を拭き取るだけで復旧可能。ダウンタイムを短縮。
●薄型・省スペース→ 厚み約10mmで装置内の狭所に設置しやすい。
●視認性の高い表示灯→ 正常時/異常時をLEDで確認可能。
用途●半導体・液晶製造装置(前工程)の薬液漏れ検知→ 酸・アルカリ・有機溶剤の漏れを早期に検出し装置保護。
●冷却水・循環水の漏れ監視→ 漏れによる装置停止や品質不良を防止。
●装置底部・配管下の漏液検知→ 狭所・局所での確実な漏れ検出。