真空ロッドレスシリンダ (CYV～)
・真空環境内(1.3×10-4Pa)での搬送に使用可能なエアシリンダ。
・装置のコンパクト化・シンプル化
真空チャンバ内に設置可能なため、搬送システムのコンパクト化、シンプル化に貢献します。
作動方式複動
内容量1個
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・真空環境内(1.3×10-4Pa)での搬送に使用可能なエアシリンダ。
・装置のコンパクト化・シンプル化
真空チャンバ内に設置可能なため、搬送システムのコンパクト化、シンプル化に貢献します。