冷凍式サーモチラー/高機能タイプ (HRZ-～)

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。