ロータリー真空ポンプの吸気口に取り付ける低真空用(≧100Pa)エアーフィルターです。真空排気ラインで発生する粒子・ダスト・コンタミを捕集します。エレメントはポリエステル製5μmで99%以上捕集します。エレメント交換はL型のため真空配管を外さずに容易に交換できます。工具も不要です。