・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ・排気エア清浄度:ISO Class5(クラス100 Fed.Std.209D)相当・安心の2段エレメント構造 第1エレメント油飽和後、2次側に流出する油を第2エレメント捕集。 外部への再飛散を一定期間防止します。