真空用フィルタ ユニオンタイプ

配管途中に簡単に取付けられ、しかも配管抵抗が小さく、安定しています。
銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」向けの分野に対応するVFU1， 2， 3タイプ。
金属部材質は銅系金属不使用、シールゴム材質にはHNBRを採用。