揺動ピストン型ドライ真空ポンプ

接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。加圧専用タイプもあります。自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。大気圧からの作動が可能。