ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
- 用途
- 域型ターボ分子ポンプのバックポンプ
クライオポンプ排気系のバックポンプ
メカニカルブースターポンプのバックポンプ
ロードロック室排気
吸着搬送、ハンドリング
レーザーガス循環・排気用
真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置
- 内容量
- 1台
注意
※吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。※お客様のご都合によるご注文後の変更・キャンセル・返品・交換はお受けできません。ご注意ください。
※お客様のご都合により再配送の手配が発生した場合には別途費用が必要となりますのでご注意ください。
※大口のご注文や4tトラックが乗り入れ出来ない場合などは、別途料金が発生・または配送をお断りさせて頂く場合がございます。
※納品先が個人宅(戸建住宅・集合住宅)様には、配送ができません。
※1階軒先までのお渡しになります。
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