スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
ヘリウムガス(HE)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体ヘリウムガス(HE)内容量1式
注意
※流体・流量等の諸条件により、仕様に多数のバリエーションがございます。かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。【型式説明】
3660 or 3665-(接続)-(流体)-(最大流量)-(校正温度)
*接続：RC1/4(1/4管用テーパめねじ) or 1/4SW(1/4スウェジロック食込継手)等
*最大流量：SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute) or SLM(Standard Liter per Minute)
*校正温度：20℃ or 0℃
CP-STD1-(ケーブル長)
【MODEL 3660 SERIES 標準仕様】
センサ方式：熱式センサー
最大流量レンジ(N2 換算)：10SCCM～100SLM
バルブ方式：比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
制御範囲：FS2～100%(※FS5～100%)
応答性：2sec以内(withinFS±2%)(※3sec以内(withinFS±2%))
精度：FS±1%(25℃)(※FS±1.5%(25℃))
温度係数：FS±0.1/℃(15～35℃)(※FS±0.2/℃(15～35℃))
再現性：FS±0.5%
動作差圧：FS≦5SLM 50～300KPA(G)、FS＞5SLM 100～300KPA(G)(※FS≦50SLM 150～300KPA(G)、FS＞50SLM 200～300KPA(G))
動作可能圧力：500KPA(G)以下
耐圧：980KPA(G)
リークレート：1×10-8Pa・m2/s以下(He透過含まず)
許容周囲温度：5～45℃
許容周囲湿度：10～90%(結露なきこと)
接ガス部材質：ボディ SUS316、バルブシート・シール材 FKM
電気接続：Dsub9ピンKFC Standard(SEMI Standard準拠)
アナログ入力：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)
アナログ出力：0～5VDC(外部負荷抵抗250KΩ以上)
所要電源：+15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
重量：約1000g(※約1500g)
※…モデル3665(30SLM～)の場合
【CR-400B 標準仕様】
マスフロー制御機能：流量設定、バルブ強制開閉、ゼロカット
マスフロー入出力：0～5VDC
マスフロー供給電源：±15VDC(300mA)
表示桁：瞬時流量4桁
表示性能：瞬時流量FS±0.1% ±1digit以内
外部制御機能：背面入力端子 アナログ信号、RS-485通信(半二重)
イベント出力：2段(瞬時上限/瞬時下限/瞬時上下限から選択)、オープンコレクタ出力(最大定格50V・50mA)
消費電力：約25W
AC電源：85～264VAC 48～440Hz
重量：約400g
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