XMD - L型バルブ/二段制御・単動/ベローズシール(XMD)
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:(-) 内部 1.3 x 10^-10 (FKM)、外部 1.3 x 10^-10 (FKM)
フランジ80
内容量1個
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません