アルミニウム製 高真空L型バルブ XLFシリーズ XLF-100H5
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品)；リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側オーダーメイド仕様標準温度仕様/ヒータの有無5～150℃、120℃用ヒータ付内容量1個
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