アルミニウム製 高真空L型バルブ XLGシリーズ XLG-50L
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3X10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3X10^-10(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)パイロットポート方向フランジ面裏表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし内容量1個
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