アルミニウム製 高真空L型バルブ XLGシリーズ XLGV-63L
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプKF(NW)
ランプ・サージ電圧保護回路ランプ・サージ電圧保護回路付
オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし;検出位置:-
CE-対応品-
操作ポート方向フランジ面裏
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
電磁弁作動方式2位置シングル
内容量1個