アルミ製 高真空L型バルブ 二段制御・単動 XLDシリーズ XLD-50H4
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)操作ポート方向フランジ側表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地オーダーメイド仕様標準温度仕様/ヒータの有無5～150℃、100℃用ヒータ付内容量1個
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