アルミ製 高真空L型バルブ 二段制御・単動 XLDシリーズ XLD-50L
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量:変更箇所:なし;リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプKF(NW)
操作ポート方向フランジ面裏
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
オーダーメイド仕様標準
温度仕様/ヒータの有無5~60℃、ヒータなし
内容量1個
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない