アルミ製 高真空L型バルブ 二段制御・単動 XLDシリーズ XLDV-63K
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)ランプ・サージ電圧保護回路ランプ・サージ電圧保護回路付オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉CE-対応品-表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地電磁弁方向フランジ面左内容量1個
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