ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DF
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品)；リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa・m3/s以下
フランジタイプK(DN)
オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉
オートスイッチ種類無接点オートスイッチ，グロメット，ランプ付，3線式(PNP)，横取出，リード線0.5m，適用電圧：DC5V，12V，24V(DC4.5～28V)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面左
内容量1個
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