大型真空ユニット 真空ポンプシステム ZR100シリーズ ZR115L2
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
単位単位切換機能付または、なしランプ・サージ電圧保護回路(Z) ランプ・サージ電圧保護回路付CE-対応品-エジェクタユニットノズル径(Φmm)(15) 1.5エジェクタ排気形式(2) ポート排気供給弁・破壊弁の組合わせ(K1) 供給弁: ダブルSOL (SYJ3233-X126)； 破壊弁: N.C (SYJ3133)電磁弁定格電圧(V)DC24エジェクタユニットノズル径1.5内容量1個
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