気流可視化装置
クリーンルーム及びクリーン機器の気流を清浄空気で可視化します。HEPAフィルターで濾過した清浄空気と純水(別売)のミストにより、クリーンルーム内を汚染することなく気流状態を可視化します。ULPAフィルター(別売)に交換することにより、ISOクラス4(クラス10)の気流も見ることができます。
仕様【ミスト発生量】約0.15L/min種別250×185×255質量(kg)5使用温度範囲(℃)18～28(周囲空気)電源(V)AC100 50/60Hz消費電力(W)約32(70VA)風量約11～40L/min集塵要素メインフィルター/HEPAフィルター集塵効率(%)0.3μm以上粒子を99.97以上アズワン品番3-1407-01内容量1台
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