マイクロフロー
気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部に独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用した、質量流量計です。
マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、ワイドレンジアビリティを低価格で実現しました。
また、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量計です。
適合ガス
水素、ヘリウム ただし腐食成分(塩素、硫黄、酸)を含まない乾燥気体であること。
また、ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体であること
質量(g)約800
使用圧力範囲(MPa)-0.07～1.0
定格電圧(V)DC12～24
流量レンジ(L/min)0～200(standard)
内容量1個
また、ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体であること
関連資料：
(1.53MB)
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よくあるご質問(FAQ)
- 質問：
- 製品の安全データシート（SDS）や有害物質使用制限に関するデータ（RoHS）等の書面が必要ですがどうすれば良いですか。
- 回答：
- お手数ですが下記URLのお問合せフォームよりご依頼ください。
お問合せ種類 *必須の中から必要な書類をお選びご依頼ください。
https://help.monotaro.com/app/ask
書類名）
1：SDS(MSDS)
2：RoHS(2)
3：非該当証明書
4：ChemSHERPA
5：その他（ミルシート・出荷証明書）
2022-03-31
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