表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信:RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク:1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流:24VDC/500mA以上 使用保証温度:5~50℃ 制御流量範囲:2~100%FS 接ガス部:SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手:1/4inSWL(相当品) 流量出力信号:本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA 流量設定:本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4.3~20mA再現性±0.2%FS通信方式デジタル/RS485、アナログ/0~5VDC/4~20mA流量精度±1%FS(精度保証範囲15~35℃)サイズ127×38×100mmフルスケール流量100SCCM応答時間≦2secバルブ種類NC(ノーマルクローズ)材質(シール)フッ素ゴム耐圧力(MPa)1内容量1個