漏液検出器
電極間抵抗検知方式
交流検出方式
洗浄装置内の結露や周辺への液漏れを検出
ドレインパンへの液漏れを検出し、装置の破損やウエハの洗浄不良を防止
洗浄槽内の純水のレベルを検出。 高感度による精度の高いレベル制御で洗浄不良を防止。
機能断線検出：あり内容量1個
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よくあるご質問(FAQ)
- 質問：
- 製品の安全データシート（SDS）や有害物質使用制限に関するデータ（RoHS）等の書面が必要ですがどうすれば良いですか。
- 回答：
- お手数ですが下記URLのお問合せフォームよりご依頼ください。
お問合せ種類 *必須の中から必要な書類をお選びご依頼ください。
https://help.monotaro.com/app/ask
書類名）
1：SDS(MSDS)
2：RoHS(2)
3：非該当証明書
4：ChemSHERPA
5：その他（ミルシート・出荷証明書）
2022-04-07
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