熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ
AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です
用途シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等
使用温度範囲(℃)0～500
コード長さ(m)1
許容差±5.0℃(100～200℃における)
熱電対Kタイプ
寸法(inch)(ウェーハ)5
プラグ形状ミニプラグ
点数5(センサー)
内容量1個
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