ターボ分子ポンプ TMP-B300シリーズ

コントローラ一体型仕様で、ローカル(本体のみ)での起動・停止・リセット操作が可能です。
全方位取付可能 (垂直、水平、倒立)取付が可能で、柔軟なレイアウトを可能にしています。
磁気軸受とセラミック軸受との組合せ、独自のダンピング機構により低振動と軸受冷却機能を実現し、信頼性が高く長寿命です。
高い背圧でも高真空排気を行う事ができ、補助ポンプの小型/軽量化が可能となり、真空排気系のコスト削減に貢献します。