軽量コンパクトで発塵部位に直接取付可能分散配置で効果的な防塵レイアウトクリーンルーム室圧に対してわずか9.8Pa以下のマイナス圧を維持することで高清浄度を確保可能配管不要、真空ブロワー不要低騒音ローコスト