材質ゴムベローズ:NBR質量(g)約150測定範囲(mm)32方式コンデンサアース測定力(N)2.97以下指示精度(μm)3以下保護等級IP67相当最小読取値0.5μm使用温湿度範囲-10~55℃/35~80%RH(結露および氷結なきこと)保存温湿度範囲-20~60℃/35~80%RH位置検出方式光学アブソリュートリニアエンコーダ方式ケーブル別売 オプション応答速度4Hz(機械的)耐衝撃(m/s2)1960(200G)耐振動10~150Hz復振幅3mm(MAX20G)/XYZ各方向2時間直径(mm)セラミック球:3.175