マスフローコントローラー エコノミーモデル 10SCCM S48-32-HMT，，MFC-10SCCM-4ISシリーズ
気体の正確な質量流量制御が可能です。
高信頼性のサーマルセンサーやソレノイドバルブを搭載しています。
高速応答で流量設定値まで2秒以内です。
材質(接ガス部)SUS316L、バイトン、PTFE、磁性ステンレスバルブ形式非通電時 閉(クローズ)：C電源(駆動)DC±15Vガスの種類He耐圧(MPa)1(G)応答速度0～50LM/1秒以内、100LM～/2秒以内流量精度±1.0%F.S.(15℃～35℃)継手(標準)0～50LM/1/4inch Swagelok相当 面間=127mm、100LM・200LM/3/8inch Swagelok相当 面間=181mm繰返し再現性±0.2%F.S.(15℃～35℃)流量(設定信号)0.1～5VDC、(出力信号)0-5VDC流量制御範囲0～50LM/2～100%FS、100LM～/5～100%FSリークレート(Pa・m3/sec)(外部)1×10-8(He)以下内容量1個
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