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マスフローコントローラ 3660

マスフローコントローラ 3660 - コフロック

定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。

バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS耐圧(kPa)980(G)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)内容量1個
注意
※コード番号をご指定の後、流量を併せてご連絡下さい。
※価格は標準製作品についてのものであり、細部仕様により価格が変わることがあります
※本製品は受注生産品につき、ご注文後のキャンセルや返品はお受けできませんのでご注意下さい。
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注文コード
品番
最大流量
精度
温度係数
適合流体
応答性
参考基準価格 (税別)販売価格(税別)販売価格(税込)
出荷目安
数量
211956173660-1/4SW-Air-10SCCM-20℃10SCCM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)Air2sec以内(within±2%FS)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
36日以内出荷
返品不可
211956263660-1/4SW-Air-50SCCM-20℃50SCCM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)Air2sec以内(within±2%FS)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
36日以内出荷
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211956353660-1/4SW-Air-100SCCM-20℃100SCCM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)Air2sec以内(within±2%FS)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
36日以内出荷
返品不可
211956443660-1/4SW-Air-500SCCM-20℃500SCCM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)Air2sec以内(within±2%FS)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
36日以内出荷
返品不可
211956603660-1/4SW-Air-1SLM-20℃1SLM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)Air2sec以内(within±2%FS)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
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返品不可
211956693660-1/4SW-Air-5SLM-20℃5SLM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)Air2sec以内(within±2%FS)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
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返品不可
211956783660-1/4SW-Air-10SLM-20℃10SLM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)Air2sec以内(within±2%FS)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
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返品不可
211956873660-1/4SW-Air-20SLM-20℃20SLM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)Air2sec以内(within±2%FS)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
36日以内出荷
返品不可
211956963665-3/8SW-Air-30SLM-20℃30SLM±1.5%FS(25℃)±0.2%FS/℃(15～35℃)Air3sec以内(within±2%FS)
￥156,500
￥149,800
￥164,780(税込)
36日以内出荷
返品不可
211957053665-3/8SW-Air-40SLM-20℃40SLM±1.5%FS(25℃)±0.2%FS/℃(15～35℃)Air3sec以内(within±2%FS)
￥156,500
￥149,800
￥164,780(税込)
36日以内出荷
返品不可
211957143665-3/8SW-Air-50SLM-20℃50SLM±1.5%FS(25℃)±0.2%FS/℃(15～35℃)Air3sec以内(within±2%FS)
￥156,500
￥149,800
￥164,780(税込)
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211957303665-3/8SW-Air-100SLM-20℃100SLM±1.5%FS(25℃)±0.2%FS/℃(15～35℃)Air3sec以内(within±2%FS)
￥184,800
￥179,800
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211957393660-1/4SW-N2-10SCCM-20℃10SCCM±1.0%FS(25℃)±0.2%FS/℃(15～35℃)N22sec以内(within±2%FS)
￥109,200
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211957483660-1/4SW-N2-50SCCM-20℃50SCCM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)N22sec以内(within±2%FS)
￥109,200
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211957573660-1/4SW-N2-100SCCM-20℃100SCCM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)N22sec以内(within±2%FS)
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211957663660-1/4SW-N2-500SCCM-20℃500SCCM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)N22sec以内(within±2%FS)
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211957753660-1/4SW-N2-1SLM-20℃1SLM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)N22sec以内(within±2%FS)
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211957843660-1/4SW-N2-5SLM-20℃5SLM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)N22sec以内(within±2%FS)
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211958003660-1/4SW-N2-10SLM-20℃10SLM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)N22sec以内(within±2%FS)
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211958093660-1/4SW-N2-20SLM-20℃20SLM±1.0%FS(25℃)±0.1%FS/℃(15～35℃)N22sec以内(within±2%FS)
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211958183665-3/8SW-N2-30SLM-20℃30SLM±1.5%FS(25℃)±0.2%FS/℃(15～35℃)N23sec以内(within±2%FS)
￥156,500
￥149,800
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￥156,500
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211958363665-3/8SW-N2-50SLM-20℃50SLM±1.5%FS(25℃)±0.2%FS/℃(15～35℃)N23sec以内(within±2%FS)
￥156,500
￥149,800
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