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マスフローコントローラ 3660

マスフローコントローラ 3660 - コフロック

定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。

仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)材質接ガス部材質：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM(オプション NBR or CR)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS再現性(%)±0.5F.S耐圧(MPa)1(G)接続電気：D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)使用電源+15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA周囲湿度(%RH)許容：10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45入圧(kPa)最大500(G)保存温度範囲(℃)許容：-10～60耐圧(kPa)980(G)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)校正温度(℃)20内容量1個
注意
※コード番号をご指定の後、流量を併せてご連絡下さい。
※価格は標準製作品についてのものであり、細部仕様により価格が変わることがあります
※本製品は受注生産品につき、ご注文後のキャンセルや返品はお受けできませんのでご注意下さい。
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注文コード
品番
質量(g)
寸法L(mm)
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精度
精度(%)
参考基準価格 (税別)販売価格(税別)販売価格(税込)
出荷目安
数量
211956173660-1/4SW-Air-10SCCM-20℃約1000127.410SCCM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
34日以内出荷
返品不可
211956263660-1/4SW-Air-50SCCM-20℃約1000127.450SCCM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
34日以内出荷
返品不可
211956353660-1/4SW-Air-100SCCM-20℃約1000127.4100SCCM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
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返品不可
211956443660-1/4SW-Air-500SCCM-20℃約1000127.4500SCCM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
34日以内出荷
返品不可
211956603660-1/4SW-Air-1SLM-20℃約1000127.41SLM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
￥109,200
￥99,980
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211956693660-1/4SW-Air-5SLM-20℃約1000127.45SLM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
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211956783660-1/4SW-Air-10SLM-20℃約1000127.410SLM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
￥109,200
￥99,980
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211956873660-1/4SW-Air-20SLM-20℃約1000127.420SLM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
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211956963665-3/8SW-Air-30SLM-20℃約1500162.430SLM±1.5%FS(25℃)±1.5F.S.(25℃)
￥156,500
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￥164,780(税込)
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211957053665-3/8SW-Air-40SLM-20℃約1500162.440SLM±1.5%FS(25℃)±1.5F.S.(25℃)
￥156,500
￥149,800
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211957143665-3/8SW-Air-50SLM-20℃約1500162.450SLM±1.5%FS(25℃)±1.5F.S.(25℃)
￥156,500
￥149,800
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211957303665-3/8SW-Air-100SLM-20℃約1500162.4100SLM±1.5%FS(25℃)±1.5F.S.(25℃)
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211957393660-1/4SW-N2-10SCCM-20℃約1000127.410SCCM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
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211957483660-1/4SW-N2-50SCCM-20℃約1000127.450SCCM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
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211957663660-1/4SW-N2-500SCCM-20℃約1000127.4500SCCM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
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211957753660-1/4SW-N2-1SLM-20℃約1000127.41SLM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
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211957843660-1/4SW-N2-5SLM-20℃約1000127.45SLM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
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211958003660-1/4SW-N2-10SLM-20℃約1000127.410SLM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
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211958093660-1/4SW-N2-20SLM-20℃約1000127.420SLM±1.0%FS(25℃)±1F.S.(25℃)
￥109,200
￥99,980
￥109,978(税込)
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211958183665-3/8SW-N2-30SLM-20℃約1500162.430SLM±1.5%FS(25℃)±1.5F.S.(25℃)
￥156,500
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￥156,500
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211958363665-3/8SW-N2-50SLM-20℃約1500162.450SLM±1.5%FS(25℃)±1.5F.S.(25℃)
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