高流量マスエアフロー / 増幅型AWM5000シリーズマイクロブリッジマスエアフローセンサは、ベンチュリ型フローハウジングを備えており、圧力降下を2.25インチH2O以下に抑えながら、20 SLPMの高流量を測定します。マイクロブリッジチップはフローストリームと直接接触するため、開口部又はバイパス流路の目詰まりによる誤差が大幅に低減されます。特長と