エアロゾル状の油微粒子を分離除去し、また、0.01μm以上のカ一ボンやダストなどの微粒固形物を取り除きます。高い清浄度の空気が要求される精密計測器やクリーンルーム用圧縮空気のプリフィルタとしてご使用ください。