半導体材料ガス探知器
半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。
ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。
1台でさまざまな半導体材料ガス(アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など)に対応。
従来品より大幅に小型・軽量化を実現。手にスッポリと収まるコンパクトボディ。
電池残量やポンプの状態など、機器の状態がわかりやすいLCD画面を搭載。
アラームランプを正面と底面の2ヶ所に搭載し、作業中に警報がわかりやすい。
保護等級IP22(JIS C 0920)相当(レザーケース装着時)。
仕様●探知可能濃度：アルシン/0.5ppm ホスフィン/0.3ppm ジボラン/0.2ppm シラン/0.5ppm 水素/1.0ppm●探知方法：熱線型半導体式●検知可能漏洩量：アルシン/2.53×10-7Pa・m3/s ホスフィン/1.52×10-7Pa・m3/s ジボラン/1.01×10-7Pa・m3/s シラン/2.53×10-7Pa・m3/s 水素/5.07×10-7Pa・m3/s
寸法(mm)38×130×32(突起物を除く)
使用温度範囲(℃)0～+40 85%RH以下(但し、結露なきこと)
電源単3アルカリ乾電池×2(付属)
表示方式断続音及びアラームランプの点滅
連続使用時間約12時間(単3アルカリ乾電池)[常温・常湿において]
保護等級IP22相当(レザーケース装着の場合)
応答時間10秒以内(探知可能濃度の3倍の濃度のガスに対して、感度設定)
ガス採気方式自動吸引式
RoHS指令(10物質対応)対応
検知対象ガス半導体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素)
内容量1台(1台)
地域運賃
| 地域 | 単位 | 配送費 |
|---|---|---|
| 北海道地方 | 1 | ￥ 1,200 / 税込 ￥ 1,320 |
| 北海道地方 | 10 | ￥ 1,200 / 税込 ￥ 1,320 |
| 沖縄地方 | 1 | ￥ 1,500 / 税込 ￥ 1,650 |
| 沖縄地方 | 10 | ￥ 1,500 / 税込 ￥ 1,650 |
| 離島 | 1 | お送りできません |
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