ロータリーポンプ(EDWARDS)

加圧給油方式の採用により、大気圧から高真空までの運転がスムーズに行えます。
精密加工と特殊給油方式により低騒音・低振動です。
オイル流量の調節バルブを内蔵しており、高真空だけでなく高圧力時もスムーズな連続運転を実現しています。